半導(dǎo)體行業(yè)的VOCs廢氣主要來源于光刻、顯影、蝕刻和擴散等。在這些工藝中，要用有機溶液(如異丙醇)清洗晶片表面，其揮發(fā)產(chǎn)生的廢氣是有機廢氣的來源之一。同時，光刻和蝕刻中使用的光刻膠(光致抗蝕劑)含有揮發(fā)性有機溶劑，如醋酸丁酯，在晶片加工過程中也會揮發(fā)到大氣中，是有機廢氣的另一個來源。 半導(dǎo)體工業(yè)中使用的清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑中含有大量的有機成分。在此過程中，這些有機溶劑大部分揮發(fā)到廢氣中。目前，吸附、焚燒或兩種方法的組合通常用于這種氣體排放。一般用沸石輪吸附，蓄熱式焚燒爐焚燒。 焚燒也應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)，處理各種有機廢氣，并通過熱氧化將有機物質(zhì)轉(zhuǎn)化為CO2和水。同時焚燒也是一種處理廢氣的好方法，有穩(wěn)定的流量和濃度。在熱氧化中，有機廢氣流被加熱，氣相中的有機物被氧化。為了節(jié)省燃料的使用，通常使用熱交換器來回收焚燒產(chǎn)生的熱量，以預(yù)熱輸入的氣體。這種方法通常用于處理大流量、低濃度的氣體。因為半導(dǎo)體行業(yè)廢氣焚燒會產(chǎn)生SiO2，使催化劑鈍化，所以接觸氧化很少用于半導(dǎo)體行業(yè)！RTO的安全始終放在設(shè)計制造的重要地位。遼寧三塔蓄熱式焚燒爐廠家
企業(yè)的VOCs成分復(fù)雜多樣。氣量不穩(wěn)定，尤其是精細化工等企業(yè)的間歇生產(chǎn)，使得有機廢氣的濃度和體積呈間歇性變化。因此，在收集技術(shù)資料時，應(yīng)充分了解企業(yè)的生產(chǎn)工藝和廢氣的主要來源，并根據(jù)企業(yè)的實際情況合理選擇設(shè)備和設(shè)施。需要了解廢氣的正常濃度、高濃度和低濃度，明確工藝過程中VOCs廢氣的排放特征和可能出現(xiàn)的意外因素。易反應(yīng)聚合的有機物(如苯乙烯)不宜采用蓄熱式焚燒爐。 呋喃水泥也是一種樹脂材料，耐熱性好，粘結(jié)強度高。是耐酸堿的理想粘結(jié)劑，能抵抗有機溶劑的腐蝕。在環(huán)氧樹脂、酚醛樹脂等樹脂材料不適合的情況下，呋喃水泥也可以勝任。例如，它可以在被氫氟酸腐蝕的環(huán)境中使用。除耐腐蝕外，還具有固化快等優(yōu)點，在-5至10下均可正常固化。陜西RTO蓄熱式焚燒爐設(shè)備RTO設(shè)備運行時的可靠度很高，在24h連續(xù)運行中表現(xiàn)穩(wěn)定。
“VOCs治理工程的處理能力應(yīng)根據(jù)VOCs處理量確定，設(shè)計風(fēng)量應(yīng)按照廢氣排放量的105%以上進行設(shè)計”；一般而言，會設(shè)置預(yù)留系數(shù)，按照工況的實際設(shè)定在1.1-1.2之間。 “兩室的蓄熱式焚燒爐凈化效率不宜低于95%，多室或旋轉(zhuǎn)式的蓄熱燃燒裝置的凈化效率不宜低于98%”，目前的現(xiàn)狀是三室的RTO裝置需求較多，如果業(yè)主在合同中對凈化效率有要求，如果有更高比如99%的要求，應(yīng)謹慎承諾。 “蓄熱焚燒裝置的熱回收效率”，熱回收效率不少人員會計算錯誤，熱回收效率的基本定義是蓄熱燃燒裝置內(nèi)預(yù)熱廢氣實際利用熱量極限可利用熱量之比，即：燃燒室溫度-蓄熱裝置出口排氣溫度/燃燒室溫度-蓄熱裝置進口廢氣溫度。 自動報警和保護裝置，應(yīng)按照要求設(shè)置，比如前段時間分享的文章中均有提及部分：精細化工行業(yè)RTO系統(tǒng)主體設(shè)計應(yīng)特別注意這5點；化工行業(yè)VOCs焚燒RTO系統(tǒng)調(diào)試應(yīng)注意事項。
涂裝過程中產(chǎn)生的揮發(fā)性有機化合物(VOC)主要有甲苯、二甲苯、三甲苯等。涂裝車間產(chǎn)生的有機廢氣主要來源于噴漆室、揮發(fā)室和干燥室。干燥室排出的煙氣具有風(fēng)量小、濃度高的特點，可采用蓄熱式焚燒爐直接處理。在高溫下，揮發(fā)性有機物被氧化分解，產(chǎn)生的熱量作為烘房的熱源。凈化后的空氣可以達到國家和地方的排放標準。噴漆室廢氣具有風(fēng)量大、濃度低的特點，廢氣中含有顆粒狀漆霧，粘度大、濕度大。所以需要用漆霧過濾廢氣，然后進入沸石輪，將過濾后的廢氣濃縮。濃縮后成為高濃度低風(fēng)量氣體，再進入旋轉(zhuǎn)RTO氧化處理。還能使噴漆廢氣和烘干廢氣共同參與吸附和濃縮。噴漆廢氣與高溫干燥廢氣混合后，由于溫度升高，相對濕度降低，節(jié)省了除濕的設(shè)備投資和運行費用，，減少了進入RTO的廢氣量。每個地區(qū)、每個行業(yè)都有不同的處理要求，我公司的設(shè)計都滿足這些要求。
蓄熱式焚燒爐是一種高效的有機廢氣處理設(shè)備。其工作原理是將有機廢氣加熱到760攝氏度以上，使廢氣中的揮發(fā)性有機化合物(VOCs)被氧化分解為二氧化碳和水。 氧化過程中產(chǎn)生的熱量儲存在特殊的陶瓷蓄熱器中，加熱到“蓄熱”。 陶瓷蓄熱體儲存的熱量用于預(yù)熱后續(xù)的有機廢氣，這是陶瓷蓄熱體的“放熱”過程，從而節(jié)省了廢氣加熱過程中的燃料消耗。 蓄熱式焚燒爐旋轉(zhuǎn)RTO對VOCs的分解效率高達99.5%，熱效率高達97%。 進出口溫差在20攝氏度左右，大限度地減少了RTO運行時的熱量損失，保證了熱能的二次回收。 閥門平穩(wěn)連續(xù)的轉(zhuǎn)動對排氣管壓力的影響只有25pa，這對于一些材料制造商來說是極其重要的。 旋轉(zhuǎn)式RTO分解效率高，VOCs入口廢氣濃度可達10g/m3。切換閥是RTO焚燒爐進行循環(huán)熱交換的關(guān)鍵部件。湖南蓄熱式焚燒爐設(shè)備
廢氣通過陶瓷蓄熱床時經(jīng)過充分預(yù)熱，并在燃燒室內(nèi)氧化成二氧化碳和水。遼寧三塔蓄熱式焚燒爐廠家
“VOCs處理項目的處理能力應(yīng)根據(jù)VOCs處理能力確定，設(shè)計風(fēng)量應(yīng)按廢氣排放量的105~120%以上設(shè)計”；一般來說會設(shè)置儲備系數(shù)，根據(jù)實際工況在1.1-1.2之間。 “兩室蓄熱式焚燒爐的凈化效率不應(yīng)低于95%，多室或回轉(zhuǎn)蓄熱式燃燒裝置的凈化效率不應(yīng)低于98%?！蹦壳暗默F(xiàn)狀是三室RTO設(shè)備需求量較大。如果業(yè)主在合同中對凈化效率有要求，如果有更高的要求，比如99%，就要慎重承諾。 “蓄熱式焚燒裝置的熱回收效率”，很多人會在熱回收效率的計算上犯錯誤。熱回收效率的基本定義是蓄熱式焚燒裝置中預(yù)熱廢氣的實際利用熱量與可用熱量的比值，即：燃燒室溫度-蓄熱裝置出口排氣溫度/燃燒室溫度-蓄熱裝置入口的排氣溫度。 應(yīng)按要求設(shè)置自動報警和保護裝置。比如前段時間分享的文章都提到了以下幾個部分：精細化工RTO系統(tǒng)的主體設(shè)計要特別注意這五點；化學(xué)VOCs焚燒RTO系統(tǒng)調(diào)試中應(yīng)注意的問題。遼寧三塔蓄熱式焚燒爐廠家