江蘇芯夢(mèng)/JSXM,成立于2019年8月,位于蘇州吳中經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū),致力于提供襯底的制造、集成電路制造、先進(jìn)封裝及大硅片制造領(lǐng)域濕法制造環(huán)節(jié)工藝設(shè)備的綜合解決方案。江蘇芯夢(mèng)/JSXM,成立于2019年8月,位于蘇州吳中經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū),致力于提供襯底的制造、集成電路制造、先進(jìn)封裝及大硅片制造領(lǐng)域濕法制造環(huán)節(jié)工藝設(shè)備的綜合解決方案。
江蘇芯夢(mèng)成立三年來(lái)高速發(fā)展,現(xiàn)有員工人數(shù)近300人,其中40%為技術(shù)研發(fā)人員,近3年?duì)I收復(fù)合增長(zhǎng)率超100%。江蘇芯夢(mèng)始終堅(jiān)持創(chuàng)新,不斷攀登半導(dǎo)體濕法裝備技術(shù)高峰,自主研發(fā)的國(guó)內(nèi)首臺(tái)全自動(dòng)ENEPIG化學(xué)鍍?cè)O(shè)備目前市場(chǎng)占有率國(guó)內(nèi);自主研發(fā)的全自動(dòng)FOUP清洗設(shè)備成功打破國(guó)外壟斷。芯夢(mèng)半導(dǎo)體為您量身打造專(zhuān)業(yè)清洗解決方案!浙江半自動(dòng)FOUP清洗機(jī)維修價(jià)格
優(yōu)點(diǎn)
裝載晶圓直徑至200mm的花籃和片盒一或不同晶圓尺寸的花和片盒,同時(shí)可裝載晶圓直徑至300mm的前端開(kāi)口片盒(Foup片盒)三種設(shè)備尺寸滿(mǎn)足客戶(hù)特殊需求
CleanStepl-用于4組花籃和片盒加載和清洗能力:每次4組花和片盒清洗產(chǎn)能:每小時(shí)12組花籃和片盒、>、CleanStepll-用于8組花籃和片盒加載和清洗能力:每次8組花籃和片盒清洗產(chǎn)能:每小時(shí)24組花籃和片盒
CleanStepIl-用于6組前端開(kāi)口片盒(Foup)加載和清洗能力:每次6組前端開(kāi)口片盒(Fup片盒)清洗產(chǎn)能:每小時(shí)18組前端開(kāi)門(mén)片盒(Foup片盒)
適用于晶圓直徑至200mm的花籃和片盒的標(biāo)準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)籠(CleanstepI/II)
適用于所有片盒一次清洗過(guò)程
或是同時(shí)4組花籃和片盒,或是12個(gè)花跨(CleanstepI/II)
簡(jiǎn)單快捷的對(duì)不同尺寸的片盒和花籃進(jìn)行切換
旋轉(zhuǎn)籠內(nèi)的可旋轉(zhuǎn)載體方便加載或卸載花籃和片盒
通過(guò)控制系統(tǒng)對(duì)自鎖裝置的檢測(cè),達(dá)到安全加載片盒和花籃,、江蘇半自動(dòng)晶圓盒清洗機(jī)怎么收費(fèi)江蘇芯夢(mèng)設(shè)備采用先進(jìn)技術(shù),助你輕松提升產(chǎn)能!
FOUP內(nèi)的水分可以通過(guò)以下方法進(jìn)行去除:真空干燥:將FOUP放置在真空環(huán)境中,利用真空的負(fù)壓效應(yīng)將FOUP內(nèi)的水分蒸發(fā)。真空干燥可以有效地去除FOUP內(nèi)的水分,但需要確保FOUP的密封性良好,以防止外部空氣進(jìn)入。熱處理:將FOUP加熱至較高的溫度,使水分蒸發(fā)。熱處理可以利用熱能將水分從FOUP中驅(qū)除,但需要注意溫度選擇,以避免對(duì)FOUP材料或晶圓造成損害。干燥劑吸附:在FOUP內(nèi)放置吸濕性較強(qiáng)的干燥劑,例如硅膠、分子篩等。這些干燥劑可以吸附FOUP內(nèi)的水分,保持FOUP內(nèi)的相對(duì)濕度較低。加熱通風(fēng):通過(guò)在FOUP周?chē)峁┘訜嵬L(fēng)系統(tǒng),將溫暖的空氣引入FOUP內(nèi)。熱空氣可以提高FOUP內(nèi)的溫度,促進(jìn)水分的蒸發(fā),并通過(guò)通風(fēng)系統(tǒng)將濕氣排出。氣體吹掃:使用干燥的氣體,例如壓縮空氣或氮?dú)猓ㄟ^(guò)噴嘴或氣流吹掃的方式將FOUP內(nèi)的水分帶走。氣體吹掃可以在FOUP內(nèi)產(chǎn)生氣流,將水分從FOUP表面帶走。
應(yīng)用領(lǐng)域:主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)《晶四制造、集成電路、先進(jìn)封裝,整個(gè)芯片濕法制程階段均適用)、化合物行業(yè)、片盒制造廠;
適用于:Shipping boxes,如SEP、Integris、 Kakizaki DainichiFOSB、FOUP和其他品圓尺寸產(chǎn)品,可定制清洗從50mm到300mm品愿盒材料;
工作原理:本設(shè)備采用全自動(dòng)方式,上料端/下料端可適配工廠自動(dòng)傳檢線(xiàn);將需要清潔的片盒放置在籃管內(nèi)一傳輸機(jī)構(gòu)依次將籃管傳到一級(jí)超聲清洗單元一一級(jí)噴洗單元一二級(jí)超聲清洗單元一二級(jí)嗎洗單元一一級(jí)干爆單元一二級(jí)干爆單元一下料單元一人工下料或?qū)庸S自動(dòng)傳輸線(xiàn)。選擇我司設(shè)備,讓你的生產(chǎn)更加智能、自動(dòng)化!
輔助功能和操作控制
觸摸屏安裝在前面一標(biāo)準(zhǔn)化
也可以通過(guò)安裝第二個(gè)觸摸屏在背面進(jìn)行控制一選項(xiàng)
其他特征
工藝腔室內(nèi)LED燈光照明
可安裝去靜電裝置和電陽(yáng)率監(jiān)測(cè)裝置選項(xiàng)
穩(wěn)定、亞光不銹鋼籠子
材料的外殼一可選擇符合FM4910標(biāo)準(zhǔn)
PP材料的工藝腔室一可選擇符合FM4910標(biāo)準(zhǔn)
設(shè)備前面帶有滑動(dòng)門(mén)一標(biāo)準(zhǔn)化為手動(dòng)/可選擇自動(dòng)
設(shè)備前面的滑動(dòng)門(mén)在做維護(hù)時(shí)可完全打開(kāi)
其他種類(lèi)的花籃和片盒相適應(yīng)的組件一選項(xiàng)圖形化的界面
易于操作和控制
10“觸摸屏PLC控制器SECSIIGEM接口
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芯夢(mèng)清洗機(jī),是您生產(chǎn)中的理想選擇!浙江半自動(dòng)FOUP清洗機(jī)維修價(jià)格
5大系統(tǒng)結(jié)構(gòu):
純水加熱PWH、高壓噴淋HPS、熱風(fēng)烘干HAD、快速甩干HSD、CDA/N2吹掃。
25組清洗:
工藝配方ProcessFormula,不同的Cassette靈活設(shè)定。
EN18822-H14:
高等級(jí)空氣過(guò)濾系統(tǒng);超純水0.1um過(guò)濾,CDA0.03um過(guò)濾。
4寸~12寸全尺寸兼容,快速實(shí)現(xiàn)干進(jìn)干出,30~60分鐘完成1次清洗工藝節(jié)拍,更大吞吐量。
2倉(cāng)2基地:
蘇州+上??焖夙憫?yīng)備件及現(xiàn)場(chǎng)技術(shù)服務(wù)壽命管理lifecycleManagement配備RFID數(shù)據(jù)讀取和上傳功能+SECSGEM200通訊系統(tǒng),方便客戶(hù)的數(shù)據(jù)管理Cassette使用情況浙江半自動(dòng)FOUP清洗機(jī)維修價(jià)格
江蘇芯夢(mèng)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司在同行業(yè)領(lǐng)域中,一直處在一個(gè)不斷銳意進(jìn)取,不斷制造創(chuàng)新的市場(chǎng)高度,多年以來(lái)致力于發(fā)展富有創(chuàng)新價(jià)值理念的產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn),在江蘇省等地區(qū)的機(jī)械及行業(yè)設(shè)備中始終保持良好的商業(yè)口碑,成績(jī)讓我們喜悅,但不會(huì)讓我們止步,殘酷的市場(chǎng)磨煉了我們堅(jiān)強(qiáng)不屈的意志,和諧溫馨的工作環(huán)境,富有營(yíng)養(yǎng)的公司土壤滋養(yǎng)著我們不斷開(kāi)拓創(chuàng)新,勇于進(jìn)取的無(wú)限潛力,江蘇芯夢(mèng)半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)攜手大家一起走向共同輝煌的未來(lái),回首過(guò)去,我們不會(huì)因?yàn)槿〉昧艘稽c(diǎn)點(diǎn)成績(jī)而沾沾自喜,相反的是面對(duì)競(jìng)爭(zhēng)越來(lái)越激烈的市場(chǎng)氛圍,我們更要明確自己的不足,做好迎接新挑戰(zhàn)的準(zhǔn)備,要不畏困難,激流勇進(jìn),以一個(gè)更嶄新的精神面貌迎接大家,共同走向輝煌回來(lái)!